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- 010 __ |a 978-7-03-042826-4 |d CNY12000.00 (80册)
- 100 __ |a 20150417d2015 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 |A wei na jia gong ji zai na mi cai liao yu qi jian yan jiu zhong de ying yong |f 顾长志等编著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015
- 215 __ |a xi, 353页 |c 图 |d 24cm
- 225 2_ |a 纳米科学与技术 |A na mi ke xue yu ji shu |v 65
- 330 __ |a 本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用, 注重理论与实践的结合, 包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印, 刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用, 重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。
- 410 _0 |1 2001 |a 纳米科学与技术 |v 65
- 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 新技术应用
- 701 _0 |a 顾长志, |A gu chang zhi |f 1964- |4 编著
- 801 _0 |a CN |b SXDTDX |c 20170517
- 905 __ |a SXDTDX |d TB383/77(2)