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- 000 01778nam0 2200349 450
- 010 __ |a 978-7-03-072489-2 |d CNY88.00
- 100 __ |a 20220704d2022 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 高温SiC MEMS传感器的热电特性 |A gao wen SiC MEMS chuan gan qi de re dian te xing |b 专著 |d Thermoelectrical effect in SiC for high-temperature MEMS sensors |z eng |f (澳)丁东安(Toan Dinh),(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen),(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著 |g 王兴华[等]译
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022
- 215 __ |a 10,133页 |c 图,彩照 |d 24cm
- 304 __ |a 译者还有:刘文宝、刘红卫、李兴冀
- 314 __ |a (澳)丁东安等著;王兴华等译,军事科学院国防科技创新研究院
- 330 __ |a 本书介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。内容可分为三部分,共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性;第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程,总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展;第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
- 333 __ |a 本书适用于高等院校微电子技术专业本科生及相关专业研究生
- 510 1_ |a Thermoelectrical effect in SiC for high-temperature MEMS sensors |z eng
- 606 0_ |a 碳化硅热敏电阻器 |A Tan Hua Gui Re Min Dian Zu Qi |x 研究
- 606 0_ |a 微机电系统 |A Wei Ji Dian Xi Tong |x 传感器 |x 热电效应 |x 研究
- 701 _0 |a 丁东安 |A ding dong an |c (澳) |c (Dinh, Toan) |4 著
- 701 _0 |a 阮南中 |A ruan nan zhong |c (澳) |c (Nguyen, Nam-Trung) |4 著
- 701 _0 |a 陶宗越 |A tao zong yue |c (澳) |c (Dao, Dzung Viet) |4 著
- 702 _0 |a 王兴华 |A wang xing hua |4 译
- 801 _0 |a CN |b SXDTDX |c 20231010
- 905 __ |a SXDTDX |d TM54/3