机读格式显示(MARC)
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- 010 __ |a 978-7-5603-5109-4 |d CNY48.00
- 099 __ |a CAL 012016065389
- 100 __ |a 20160531d2016 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用 |A Wei Ji Dian Xi Tong (MEMS) Gong Yi Ji Chu Yu Ying Yong |d = MEMS technology foundation and application |f 邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著 |z eng
- 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2016
- 215 __ |a 301页 |c 图 |d 23cm
- 330 __ |a 本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS 工艺。主要介绍MEMS 的概念、发展现状与趋势及力学相关知识;重点阐述MEMS 实现工艺,主要有刻蚀( 包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀) ,表面微加工工艺的基本原理及其常用材料。
- 510 1_ |a MEMS technology foundation and application |z eng
- 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji |x 高等学校 |j 教材
- 701 _0 |a 邱成军 |A Qiu Cheng Jun |4 编著
- 701 _0 |a 曹姗姗 |A Cao Shan Shan |4 编著
- 701 _0 |a 卜丹 |A Bo Dan |4 编著
- 801 _0 |a CN |b SXDTDX |c 20161211
- 905 __ |a SXDTDX |d TM38/4