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- 010 __ |a 978-7-04-026358-9 |b 精装 |d CNY66.00
- 100 __ |a 20091222d20092005em y0chiy0121 ea
- 200 1_ |a 微纳米加工技术及其应用 |A Wei Na Mi Jia Gong Ji Shu Ji Qi Ying Yong |d = Micro-nanofabrication technologies and applications |f 崔铮著 |F Cui Zheng Zhu
- 210 __ |a 北京 |A Bei Jing |c 高等教育出版社 |C Gao Deng Jiao Yu Chu Ban She |d 2009
- 215 __ |a 466页 |c 图 |d 24cm
- 330 __ |a 本书综合介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。
- 510 1_ |a Micro-nanofabrication technologies and applications |z eng
- 701 _0 |a 崔铮 |A Cui Zheng |4 著
- 801 _0 |a CN |b NLC |c 20091222
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- 985 __ |a Y111909 |h |m 订购 |r |d 66 |b 基本书库 |y |c |e 0 |a Y112000 |h |m 订购 |r |d 66 |b 基本书库 |y |c |e 0 |a Y112843 |h |m 订购 |r |d 66 |b 基本书库 |y |c |e 0 |a Y112964 |h |m 订购 |r |d 66 |s 库本 |y |c |e 0 |a Y112965 |h |m 订购 |r |d 66 |b 基本书库 |y |c |e 0