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- 200 1_ |a 气相沉积应用技术 |A Qi Xiang Chen Ji Ying Yong Ji Shu |f 王福贞,马文存编著 |F Wang Fu Zhen , Ma Wen Cun Bian Zhu
- 210 __ |a 北京 |A Bei Jing |c 机械工业出版社 |C Ji Xie Gong Ye Chu Ban She |d 2007
- 215 __ |a 13,411页 |c 图 |d 24cm
- 300 __ |a 本书全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析方法等。
- 701 _0 |a 王福贞 |A Wang Fu Zhen |c (女, |f 1935.4~) |4 编著
- 701 _0 |a 马文存 |A Ma Wen Cun |4 编著
- 801 _0 |a CN |b 北京京图编目中心 |c 20100525
- 905 __ |a SXDTDX |d TF111.34/1
- 985 __ |a Z005716 |h |m 订购 |r |d 38 |b 数计学院资料室 |y |c |e 0 |a Z005717 |h |m 订购 |r |d 38 |b 数计学院资料室 |y |c |e 0 |a Z020005 |h |m 订购 |r |d 38 |b 化工学院资料室 |y |c |e 0 |a Z020006 |h |m 订购 |r |d 38 |b 化工学院资料室 |y |c |e 0