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中文图书1.等离子体刻蚀工艺及设备 TN305.7/5
馆藏复本:3
可借复本:3 赵晋荣主编
电子工业出版社 2023
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中文图书2.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.第2版 TN405.98/2
馆藏复本:2
可借复本:2 张海洋等编著
清华大学出版社 2023
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馆藏复本:3
可借复本:3 赵晋荣主编
电子工业出版社 2023
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馆藏复本:2
可借复本:2 张海洋等编著
清华大学出版社 2023
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