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- 题名/责任者:
- 高温SiC MEMS传感器的热电特性/(澳)丁东安(Toan Dinh),(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen),(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著 王兴华[等]译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-03-072489-2/CNY88.00
- 载体形态项:
- 10,133页:图,彩照;24cm
- 个人责任者:
- 丁东安 (澳) (Dinh, Toan) 著
- 个人责任者:
- 阮南中 (澳) (Nguyen, Nam-Trung) 著
- 个人责任者:
- 陶宗越 (澳) (Dao, Dzung Viet) 著
- 个人次要责任者:
- 王兴华 译
- 学科主题:
- 碳化硅热敏电阻器-研究
- 学科主题:
- 微机电系统-传感器-热电效应-研究
- 中图法分类号:
- TM54
- 中图法分类号:
- TH-39
- 一般附注:
- Springer
- 题名责任附注:
- 译者还有:刘文宝、刘红卫、李兴冀
- 责任者附注:
- (澳)丁东安等著;王兴华等译,军事科学院国防科技创新研究院
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。内容可分为三部分,共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性;第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程,总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展;第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
- 使用对象附注:
- 本书适用于高等院校微电子技术专业本科生及相关专业研究生
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TM54/3 | B0112278 | 库本 库349886 | 可借 | 库本 | |
TM54/3 | B0112276 | 基本书库 | 可借 | 基本书库 | |
TM54/3 | B0112277 | 基本书库 | 可借 | 基本书库 |
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