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题名/责任者:

氮化铝单晶材料生长与应用/徐科, 黄俊编著

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-5606-6283-1 精装/CNY108.00

载体形态项:

175页, [4] 页图版:图 (部分彩图);25cm

并列正题名:

Aluminum nitride single crystal growth and applications

丛编项:

宽禁带半导体前沿丛书

个人责任者:

徐科 编著

个人责任者:

黄俊 编著

学科主题:

氮化铝-单晶-半导体材料-研究

中图法分类号:

TN304.2

书目附注:

有书目 (167-175页)

提要文摘附注:

本书以作者多年的研究成果为基础, 大量扩展和补充了该领域的最新研究成果, 详细介绍了氮化铝单晶材料生长与器件的基本原理、技术工艺、最新进展及应用趋势。全书共七章, 包括氮化铝单晶材料的基本性质、材料生长的物理基础、材料的缺陷、物理气相传输法、氢化物气相外延法、金属有机物化学沉积法、和氮化铝器件应用。

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