MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:1
- 题名/责任者:
- 一本书读懂芯片制程设备/王超 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-111-72041-6/CNY99.00
- 载体形态项:
- 254页:图 (部分彩图);24cm
- 丛编项:
- 集成电路科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 王超 编著
- 个人责任者:
- 姜晶 编著
- 个人责任者:
- 牛夷 编著
- 学科主题:
- 芯片-工业生产设备
- 中图法分类号:
- TN43
- 题名责任附注:
- 题名页题: 王超, 姜晶, 牛夷, 王刚编著
- 责任者附注:
- 王超, 清华大学精密仪器系教授, 国家级人才称号获得者。先后在世界知名的半导体设备制造公司、半导体代工厂和国内外高等研究院所工作和学习过。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域 (集成电路及专用设备) 等重大需求, 编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石, 是各国竞相角逐的“国之重器”, 也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游, 贯穿于芯片制造全过程, 是决定产业发展的最关键一环。本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备, 并着重分析了芯片制程设备的国内外市场环境; 然后, 针对具体工艺技术涉及设备, 详细综述了设备原理及市场情况; 最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。
- 使用对象附注:
- 本书可为制造业企业和研究机构提供参考, 也可供对集成电路芯片制程设备感兴趣的读者阅读
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TN43/29 | B0200727 | 库本 库366366 | 新书:正在上架 | 库本 | |
TN43/29 | B0200725 | 基本书库 | 新书:正在上架 | 基本书库 | |
TN43/29 | B0200726 | 基本书库 | 新书:正在上架 | 基本书库 |
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