MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/顾长志等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-03-042826-4/CNY12000.00 (80册)
- 载体形态项:
- xi, 353页:图;24cm
- 丛编项:
- 纳米科学与技术;65
- 个人责任者:
- 顾长志, 1964- 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-新技术应用
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 国家出版基金项目
- 书目附注:
- 有书目和索引
- 提要文摘附注:
- 本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用, 注重理论与实践的结合, 包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印, 刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用, 重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TB383/77(2) | Y884966 | - |  库本
库037159 |
可借 | 库本 |
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