MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：6
- 题名/责任者:
- 半导体材料生长技术/(美)曾(Tsang,W.T.)主编 江剑平等译
- 出版发行项:
- 广州:广东科技出版社,1993
- ISBN及定价:
- 7-5359-1135-8 精装/CNY28.80
- 载体形态项:
- 443页;20cm
- 编目员补充题名:
- 材料 生长
- 丛编项:
- 当代科技重要著作·信息领域.半导体光电子技术丛书
- 丛编项:
- 半导体光电子技术丛书
- 个人责任者:
- 曾 W. T. 主编
- 个人责任者:
- Tsang W.T. 主编
- 个人次要责任者:
- 江剑平 译
- 学科主题:
- 半导体材料-外延生长
- 学科主题:
- 外延生长-半导体材料
- 中图法分类号:
- TN304.054
- 科图法分类号:
- 73.7213
- 题名责任附注:
- 曾(W·T·Tsang),著者原题无汉译名,美国AT&T贝尔实验室任职
- 责任者附注:
- 江剑平,副教授
- 提要文摘附注:
- 本册共6章,详细说明各种Ⅲ-V族化合物半导体的外延生长技术和材料缺陷,讨论了液相外延、分子束外延、常压和低压金属有机化学汽相沉积,以及卤化物和氯化物输运汽相沉积等各项技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN304.054/1 | S016766 |  库本
库232084 |
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| TN304.054/1 | S047026 | 基本书库
|
可借 |
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