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题名/责任者:

气相沉积应用技术/王福贞，马文存编著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2007

ISBN及定价:

7-111-20065-9/CNY38.00

载体形态项:

13,411页:图;24cm

个人责任者:

王福贞 (女, 1935.4~) 编著

个人责任者:

马文存 编著

学科主题:

气相沉积-基本知识

学科主题:

气相沉积

中图法分类号:

TF111.34

一般附注:

本书全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析方法等。

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