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题名/责任者:

低温等离子体诊断原理与技术/叶超编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-03-055475-8 精装/CNY169.00

载体形态项:

340页:图;24cm

并列正题名:

Principle and technology of low temperature plasma diagnosis

丛编项:

等离子体物理丛书

个人责任者:

叶超 编著

学科主题:

低温-等离子体诊断

中图法分类号:

O536

一般附注:

“十三五”江苏省高等学校重点教材

相关题名附注:

封面英文题名：Principle and technology of low temperature plasma diagnosis

责任者附注:

叶超,苏州大学物理科学与技术学院,叶超，宁兆元，江美福，吴雪梅，辛煜编著《低气压低温等离子体诊断原理与技术》，北京：科学出版社（2010）合著多个国家自然科学基金面上项目负责人，多频等离子体和离子束沉积多种微纳电子薄膜材料，江苏省科技进步三等奖

提要文摘附注:

本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程，到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用，介绍了低温等离子体诊断的基础知识，总结了该领域近年来的一些新进展，提供了低温等离子体诊断应用的实例。

使用对象附注:

本书适用于从事低温等离子体物理、薄膜物理、微电子材料与器件、材料科学与工程、等离子体化学等应用研究的相关科研和工程技术人员以及在上述专业的研究生或高年级本科生，从事等离子体其他领域工作的科研和教学人员

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