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题名/责任者:

微纳米加工技术及其应用/崔铮著

出版发行项:

北京:高等教育出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-04-026358-9 精装/CNY66.00

载体形态项:

466页:图;24cm

并列正题名:

Micro-nanofabrication technologies and applications

个人责任者:

崔铮 著

学科主题:

纳米材料-新技术应用

学科主题:

纳米材料

学科主题:

新技术应用

中图法分类号:

TB383

提要文摘附注:

本书综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。

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