MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 现代高纯气体制取、分析与安全使用/尹恩华著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-03-044967-2/CNY108.00
- 载体形态项:
- 336页:图;24cm
- 个人责任者:
- 尹恩华 著
- 学科主题:
- 工业气体-化工生产
- 中图法分类号:
- TQ116
- 提要文摘附注:
- 本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等，无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
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库249399 |
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