MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 半导体芯片制造技术/杜中一主编
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-121-15396-9/CNY25.00
- 载体形态项:
- 152页:图;26cm
- 丛编项:
- 高等职业教育规划教材.微电子技术专业系列
- 个人责任者:
- 杜中一 主编
- 学科主题:
- 芯片-生产工艺-高等职业教育-教材
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 书目附注:
- 有书目 (第152页)
- 提要文摘附注:
- 本书全面系统地介绍了半导体芯片制造技术, 内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂及封装。
- 使用对象附注:
- 工业和信息产业职业教育教学指导委员会“十二五”规划教材
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN430.5/2 | Y655576 | - |  库本
库231389 |
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| TN430.5/2 | Y655577 | - | 基本书库
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| TN430.5/2 | Y655578 | - | 基本书库
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| TN430.5/2 | Y655579 | - | 基本书库
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| TN430.5/2 | Y655581 | - | 基本书库
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| TN430.5/2 | Y655583 | - | 阅览室
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| TN430.5/2 | Y655584 | - | 阅览室
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