山西大同大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

MEMS/NEMS谐振器技术/张文明，胡开明著

出版发行项:

北京:科学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-03-075719-7 精装/CNY298.00

载体形态项:

475页:图;24cm

个人责任者:

张文明 著

个人责任者:

胡开明 著

学科主题:

微机电系统-谐振器

中图法分类号:

TN629.1

责任者附注:

上海交通大学机械与动力工程学院

提要文摘附注:

本书共9章，内容包括：MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势；谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为；微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法；谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术；通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，以及多种可靠性评估方法和测试技术。

使用对象附注:

本书适用于微电子学、机械工程、信息通信、航空航天、生物医学、凝聚态物理、环境能源、国防军事等领域从事MEMS/NEMS技术及相关应用工作的科研人员和高等院校相关专业的师生

豆瓣简介：