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题名/责任者:

类金刚石薄膜的制备、结构与性能研究/代海洋著

出版发行项:

北京:中国原子能出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-5221-0738-7/CNY45.00

载体形态项:

186页:图;24cm

个人责任者:

代海洋 著

学科主题:

类金刚石膜-研究

中图法分类号:

TB43

提要文摘附注:

本书共分为7章：第1章简要介绍了类金刚石薄膜的发展史、组成、分类、结构模型、性质、生长机理、应用制备方法以及应用中存在的问题解决方法；第2章主要介绍了中频脉冲非平衡磁控溅射技术及研究过程中所使用的测试方法的原理、设备型号；第3章主要通过文献调研并结合作者的科研结果探索了种拉曼光谱分析DLC薄膜中sp3含量的新经验模型；第4章主要介绍了基体偏压、梯度偏压、基体温度、中频电流、靶－基距对无氢的DLC薄膜的结构与性能的影响规律；第5章主要介绍了碳源气体、沉积气压、进气比例对含氢的DLC薄膜的结构与性能的影响规律；第6章主要介绍了在Ge和ZnSe基体上涂覆GexC1-x/DLC薄膜系前后透过率的变化、砂尘冲刷实验和淋雨实验结果；第7章对本书的研究结论进行了总结。

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